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Hohlkathodenverfahren

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik

Hohlkathoden Rundquelle in Betrieb

Grundlagen

Die Hohlkathoden-Glimmentladung ist eine Sonderform der Niederdruck-Glimmentladung. Sie entsteht, wenn die Kathode die Gestalt eines Hohlkörpers annimmt und führt zu deutlich höheren Plasmadichten als diese.

Das IST beschäftigt sich seit vielen Jahren mit der Frage, wie dieser Entladungstyp für die Oberflächentechnik nutzbar gemacht werden kann. Resultat sind verschiedene Plasmaquellen und entsprechende Verfahren mit breitem Anwendungspotential. Das betrifft insbesondere das (Hohlkathoden-) Gasflusssputtern (GFS).

Zuletzt aktualisiert am: 2013-09-22 21:57:42 CEST
Quelle: http://hohlkathoden.fraunhofer.de/de/grundlagen/
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