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Hohlkathodenverfahren

Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik

Hohlkathoden Rundquelle in Betrieb

Anwendungen

Die möglichen Anwendungen von GFS sind sehr vielfältig. Sie liegen vor allem auf Gebieten, wo die spezifischen Vorteile von GFS von Nutzen sind. Dies sind

  • Sputter-Schichten mit großer Schichtdicke (~5 – 50 µm).
  • Oxidschichten, vor allem mit hohem elektrischem Isolationsvermögen (Aluminiumoxid, Titanoxid, Zirkoniumoxid, Chromoxid, Magnesiumoxid).
  • Schichten mit definierter Mikrostruktur. Das mit GFS herstellbare Spektrum reicht von amorphen und superharten Schichten über kolumnare und nanoporöse Schichten zu Clustern und Nanopartikeln.
  • Mehrkomponentige Metall- und Oxidschichten.
  • 3D-Beschichtung sowie Lokal- und Innenbeschichtung.
Zuletzt aktualisiert am: 2013-09-22 21:57:42 CEST
Quelle: http://hohlkathoden.fraunhofer.de/de/anwendungen/
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